@InProceedings{ReisBeloUeda:2006:CaSiPo,
author = "Reis, J. C. N. and Beloto, Ant{\^o}nio Fernando and Ueda,
M{\'a}rio",
affiliation = "{} and {Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and
{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Caracteriza{\c{c}}{\~a}o do sil{\'{\i}}cio poroso implantado
com h{\'e}lio utilizando espectroscopia no infravermelho",
booktitle = "Anais...",
year = "2006",
organization = "Congresso Brasileiro de Aplica{\c{c}}{\~o}es de V{\'a}cuo na
Ind{\'u}stria e na Ci{\^e}ncia, 27. (CBRAVIC).",
conference-location = "Itatiba, SP",
conference-year = "26-28 jul.",
language = "pt",
organisation = "Universidade S{\~a}o Francisco; Sociedade Brasileira de
V{\'a}cuo",
urlaccessdate = "13 maio 2024"
}